高温无氧烘箱520L用于精密电子元件、银胶固化、PI/BCB/BPO胶高温固化烘烤、光刻胶固化、晶圆退火、电子陶瓷材料防氧化烘干、测试的特殊工艺要求.
高温无氧烘箱520L技术参数 :
工作室尺寸:W800mm×800mm×H800mm
材质:内箱采用优质耐高温SUS304不锈钢,外箱采用优质冷轧板喷塑,
温度范围:RT+50-450℃
温度分辨率:0.1℃
温度波动度: ≤±1℃
温度均匀度:≤1.5%℃
洁净度:使用环境同等级,可选百级(class100)无尘
升温速度:0-10℃/min
降温方式:自然降温或辅助降温(降温速率约4℃/min)
氧含量:≤20ppm
彩色触摸屏操作,可程式/定值运行
样品架:2-4层不锈钢冲孔样品架
高温无氧烘箱520L用途:
用于精密电子元件、银胶固化、PI/BCB/BPO胶高温固化烘烤、光刻胶固化、晶圆退火电子陶瓷材料防氧化烘干、测试的特殊工艺要求。
高温真空无氧烘箱
高温真空无氧烘箱技术参数
温度范围: RT ~300/450℃;可定制
温度波动度:≤±1℃,
升温速度:0-10℃/min;
降温方式:自然降温或风冷+水冷降温
氮气控制: 可调试流量计控制
氧含量检测:20~1000ppm
工作尺寸: W350×H350×D350,
W450×H450×D450,
W600×H600×D600可定制
高温真空无氧烘箱结构:
箱体材料:外箱采用优质冷轧板烤漆;
内室材料:采用316L医用级不锈钢;
保温材料:超细陶瓷纤维;
排 气 口:有
真空泵:涡旋干泵