高低溫濕熱試驗箱具有雙重性能,即可進行單獨的低溫或高溫試驗,亦可進行不同的溫濕度試驗,該設備適用于試驗各種材料耐熱、耐寒、耐干、耐濕性能及車輛、塑膠制品、金屬、電工電子、食品、化學、建材、醫療、航天等制品科研和質量檢測之用。
真空干燥箱專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質而設計,能夠向內部充入惰性氣體,特別是一些成分復雜的物品也能進行快速干燥,適合工礦企業、醫學校院、科研單位在真空條件下進行干燥熱處理等。
HMDS預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS與硅片反應機理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應,在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。
氣候箱體內腔采用不銹鋼,表面光滑不結露,不吸附甲醛,保證檢測精度;恒溫箱體采用硬制發泡材料,箱門采用硅橡膠密封條,有良好保溫性能和密封性能。箱內裝有強制空氣循環裝置(形成循環空氣流),以確保箱內溫濕度均衡*。