HMDS預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS真空烘箱技術參數:
電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率:2400W
控溫范圍:RT+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動度:±0.5℃
達到真空度:133Pa
容積:90L
工作室尺寸(mm):450*450*450
載物托架:2塊
時間單位:min
二、HMDS真空烘箱特點:
1、 采用醫用級不銹鋼316L材質制造,內膽為不銹鋼316L;加熱器均勻分布在內膽
外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀
察工作室內物體一目了然。
2、 箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。
3、 微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫
精確,可靠。
4、 智能化觸摸屏控制系統配套進口PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,
溫度,真空度及每一程序時間。
5、 HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外
漏顧慮。
6、 整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,適用100 級光刻間凈化環境。