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抗粘 劑鍍膜機,抗粘劑蒸鍍機

抗粘 劑鍍膜機,抗粘劑蒸鍍機

簡要描述:

抗粘 劑鍍膜機,抗粘劑蒸鍍機抗粘劑氣相涂布機模具在使用前,要涂一層抗粘劑,使得模具和壓印膠之間的粘附性變差,使脫模過程變得容易。

抗粘 劑鍍膜機,抗粘劑蒸鍍機的必要性

  在納米壓印工藝中模具在進行壓印前要進行預(yù)處理,當(dāng)模具壓印光刻膠后脫模時,有2種可能,一種是模具可*脫離,壓印膠圖形完整保留;一種是模具和壓印膠粘在一起脫模過程中膠也被帶起來,使得壓印圖形無法保留,而這些粘在模具上的膠也會污染模具。因此模具在使用前,要涂一層抗粘劑,使得模具和壓印膠之間的粘附性變差,使脫模過程變得容易。

抗粘劑鍍膜機,抗粘劑蒸鍍機,抗粘劑氣相涂布機適用范圍

半導(dǎo)體,光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料,如制備各種微納電子器件、光學(xué)器件、光電器件、存儲器、微流體通道、生物芯片等微納結(jié)構(gòu)制備方面的應(yīng)用。

抗粘 劑鍍膜機,抗粘劑蒸鍍機主要技術(shù)參數(shù)                                      

3.1 工作室尺寸: 350×350×350(mm)

3.2 材質(zhì): 外箱優(yōu)質(zhì)SUS#304不銹鋼,內(nèi)腔采用316L醫(yī)用不銹鋼

3.3 溫度范圍 :RT+20-450℃

3.4 溫度分辨率: 0.1℃

3.5 溫度波動度 :≤±0.5

3.6 真空度: ≤20torr

3.7 潔凈度 :設(shè)備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率 :   

3.9 控制儀表 人機界面

3.10擱板層數(shù) 1層

3.11真空泵 無油泵

3.12 保護裝置 超溫保護,漏電保護,過熱保護等


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