上海HMDS烘箱供应预处理性能更好，由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理，所以不会有尘埃的干扰，再者，由于该系统是将“去水烘烤“和HMDS处理放在同一道工艺，同一个容器中进行，晶片在容器里先经过100℃-160℃的去水烘烤，再接着进行HMDS处理，不需要从容器里传出，而接触到大气，晶片吸收水分子的机会大大降低，所以有着更好的处理效果。
上海HMDS烘箱供应技术参数
电源电压：AC 220V±10%/50Hz±2%
输入功率：2000W
控温范围：RT+20℃-160℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：±0.5℃
达到真空度：-100kPa（1torr）
工作室尺寸（mm）：450*450*450（可定做）
有可自动吸取添加HMDS功能，智能型的程式设定，一键完成作业。
上海HMDS烘箱供应加热模块
由于工艺的整个过程都需要在150℃左右的环境下进行，所以自始至终加热
系统都在工作。
本系统采用在腔内分布两块独立的热板来实现加热，每个热板都采用人工智
能PID调节仪实现闭环控制，调节仪控制固态继电器的输出从而实现温度的精确
稳定控制，测温采用通用的高精度热敏电阻Pt100。
真空模块
由机械泵、真空组件、真空测量等组成，主要作用是置换气体和抽走剩余的
HMDS蒸汽。
上海HMDS烘箱报价充氮?？?/span>
作用是在置换过程中，用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽，从而zui终替换空气或药液蒸汽的气氛。
主要由氮气源、控制阀和喷头组成。
控制?？?/span>
控制模块是本系统的核心?？?，它的作用是控制各个?？榈亩骱褪毙?，完成整个工艺过程。
它主要由人机界面，CPU控制中心，控制接口和输出部件，报警等5部分组成。
人机界面采用φ100mm松下触摸屏来实现参数、状态等界面的显示和参数的设定输入。PLC采用松下的FP0系列小型化PLC。
