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潔凈烤箱,10/100/1000級潔凈烤箱等級說明

更新時間:2017-07-13   點擊次數:7303次

 潔凈度等級有標準就是ISO,還有國內標準,10/100/1000級屬于國內標準。10/100/1000的意思是:每立方米空氣內含有微粒(微粒直徑大于等于0.1微米的zui大個數。例如,100級就是粒徑大于等于0.1微米的zui大微粒數不能大于100個。  
國標與ISO標準相對應: 10級相當于ISO4級,100級相當與ISO5級,1000級相當于ISO6級。
 

100級潔凈烤箱?用途:
  100級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

100級潔凈烤箱特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到zui的溫度控制精度
100級潔凈烤箱產品技術參數:

   無塵等級:Class 100; 可自定義10/1000級    

 溫度范圍:RT+10200℃;zui高溫度可自定義
   溫度均勻度:±2℃;    

 溫度波動度:±0.5℃(空載)        
   溫控精度:±0.1℃;        

 工作尺寸:W800×D800×H1000mm)可自定義         
   電源:380v , 50Hz,20KW    

 網板:2塊(高度可調節)

 潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。

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