双腔式PI固化炉操作步骤
双腔式PI固化炉即具有两个工作室的PI固化炉,可同时运行也可独立操作。不仅具有单腔固化炉的所有功能,而且还能够使用不同的生产工艺。
排气等管道合二为一,节约能源,更加环保;
双腔式占地面积更小,节约空间;
还可批量生产,提高生产效率;
自动化控制,减少操作人员,降低生产成本;
双腔式PI固化炉用途
应用于精密电子元件、PI/CPI/PBO/BCB胶高温固化烘烤、LCP纤维热处理、硅片退火固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于MEMS制造、集成电路制造、触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、第三代半导体、太阳能、新材料等行业.
双腔式PI固化炉定制要求
单腔尺寸:W500mm×500mm×H550mm(可定尺寸)
材质:内箱采用耐高温SUS304不锈钢,外箱采用优质冷轧板喷塑(可定其他)
温度范围:RT+50~300/450℃
洁净度:Class100(可选)
升温方式:阶梯升温,可编辑多个升温时间
降温方式:水冷、风冷
氧含量:氧含量≤20ppm
操作界面:彩色触摸式人机界面
操作方式:一键运行
真空度:100pa(可选)