HMDS烘箱也稱為智能型HMDS真空系統(tǒng)，HMDS預處理系統(tǒng)等。半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面的氧化物的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的濕度下、足夠長時間后在其表面形成極性OH鍵。這種襯底是親水性的，因此對光刻膠的非極性或低極性樹脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性，可以用化學方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上，需要HMDS烘烤箱來處理。

 HMDS烘箱處理的優(yōu)勢HMDS是蒸發(fā)鍍膜，涂布厚度佳、均勻性好。旋涂式涂布厚度較厚，烘烤過程中有氨氣釋放，導致一些不利情況出現(xiàn)。